Benchtop Furnace
150mm wafers, manual loading, general furnace, temperature accuracy +/- 1C, 25 wafer boats.
E10283
150mm wafers, manual loading, general furnace, temperature accuracy +/- 1C, 25 wafer boats.
150mm wafers, manual loading, general furnace, temperature accuracy +/- 1C, 25 wafer boats.
New Mountbatten
University of Southampton
School of Electronics & Computer Science
Physical Sciences and Engineering
LESSEY, MARK
Clean Rooms - Nanofabrication
75
100
1.3333333333333
2805
750
1000
1.3333333333333
94600
1200
1600
1.3333333333333
201581
1440
1920
1.3333333333333
273941
150
200
1.3333333333333
7210
220
220
1
10059
260
240
0.92307692307692
12216
225
300
1.3333333333333
13826
198
320
1.6161616161616
12831
300
400
1.3333333333333
21536
297
480
1.6161616161616
24647
37
50
1.3513513513514
1343
450
600
1.3333333333333
41856
600
800
1.3333333333333
66133
600
800
1.3333333333333
66133
3240
4320
1.3333333333333
5559296